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OTF-1200X-50-II-4CV-PE-MSL是一款雙溫區的PE-CVD管式爐系統,組成部分為500W的射頻發生器、滑動速度可控的雙溫區滑軌爐,預熱爐(作用為使固體原料蒸發)和德國進口的無油泵。此款PE-CVD對于生長納米線或用CVD,方法來制作各種薄膜是一款新的探索工具。
GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,其爐管直徑為4英寸,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成,其Z高工作溫度可達1600℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
OTF-1200X--HVC是由OTF-1200X-單溫區管式爐,二路質子混氣系統和高真空機組組成。其Z高工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr?;鞖庀到y可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。
OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通過CE認證的雙溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用雙旋片機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,可以混合1-3種氣體,其真空度可達到 10-2 torr.
OTF-1200X-S50-2F迷你型CVD管式爐,是一款通過CE認證的可開啟式管式爐,能使樣品加熱到1200℃。左法蘭上安裝一個數字式真空顯示計,右法蘭上安裝有一KF-25接口,可以與機械泵相連接(抽速為226L/m)。同時左法蘭上安裝有φ6.35的卡套接頭,使得爐體可與兩路混氣系統相連接。精確的控溫系統提供30段升溫和降溫程序,其控溫精確度為+/- 1 °C 。
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.
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